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AS3601像素固晶机

三臂交替固晶,提升固晶效率,固晶视觉一次完成RGB三个晶圆拍照定位,减少固晶平台移动次数。

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产品介绍

特点:

     1、  三臂交替固晶,提升固晶效率;

   2、  固晶视觉一次完成RGB三个晶圆拍照定位,减少固晶平台移动次数;

3、  RGB三色晶圆分别取晶/固晶,取/固晶参数更具针对性,提高设备良率;

4、  取晶平台配备晶圆环自动校正功能;

5、  支持单机多环和多机联合混打功能;

6、  可对接流水线实现后进后出自动上板;

7、  可选配料盒自动上料组件实现料盒式上板;

8、  可选配晶圆环自动上料组件实现晶圆自动换环;


技术规格:


AS3601像素固晶机
序号项目参数
1固晶范围154mm * 320mm(标准)
220mm * 400mm(定制)
2晶片大小3*5mil ~ 20*20mil
3贴合精度位置精度:<+/-15μm
角度误差:< 1º
4生产周期72ms;50K/H  @1.0 pitch(蓝/绿)
5固晶压力20~250克(可调
6晶圆环6寸(标准)
其他尺寸(定制)
7工作环境
输入电源:220VAC;50Hz

运行功率:2.5KW;

                                              压缩空气:0.35~0.5MPa(无水无油)

                                                        相对湿度:45%-60%

                                                          环境湿度:24±2度

无尘车间:≤10万级

8机台重量约2500KG
9机台尺寸

长1600mm* 宽1200mm*高1500mm 



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